真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。

真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的一种结构，其晶圆容量几乎不变。

全系列半导体及光伏行业卧式扩散炉等热处理设备的高质量加热炉体热场，满足4-18寸晶圆及电池片制造工艺，造就加热炉所具有更宽的工艺温度范围及更高的恒温区精度、稳定性，以及更长的使用寿命。

真空法兰和管件是相互连接的零件，其中，真空法兰常见的三种分别为：CF法兰、KF法兰、ISO法兰。